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Lithography (Landis, Stefan (Hrsg.))
Lithography
Autor Landis, Stefan (Hrsg.)
Verlag Wiley
Sprache Englisch
Mediaform Adobe Digital Editions
Erscheinungsjahr 2013
Seiten 320 S.
Artikelnummer 16368224
Verlagsartikelnummer 978-1-118-62118-9
ISBN 978-1-118-62118-9
Plattform EPUB
Kopierschutz DRM Adobe
CHF 121.00
Zusammenfassung
Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc.

This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components.

97546543
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Stefan Landis works at CEA-LETI-Minatec in Grenoble, France. He also lectures on next generation lithography in numerous engineering schools in France and in CEI-Europe Advanced Technology Education.
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