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Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing (Mattox, Donald M.)
Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing
Autor Mattox, Donald M.
Verlag William Andrew Inc
Sprache Englisch
Einband Fester Einband
Erscheinungsjahr 2010
Seiten 746 S.
Artikelnummer 4599823
ISBN 978-0-8155-2037-5
Auflage 2. A.
CHF 330.00
Zusammenfassung
Explains various aspects of physical vapor deposition (PVD) process technology from the characterizing and preparing the substrate material, through deposition processing and film characterization, to post-deposition processing.
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